1200C trijų šildymo zonų PECVD sistema
1200C trijų šildymo zonų PECVD sistema

1200C trijų šildymo zonų PECVD sistema

SK2-CVD-12TPB4 yra vamzdinė krosnis, skirta PECVD sistemai, kurią sudaro 300 W arba 500 W RF maitinimo šaltinis, kelių kanalų tikslaus srauto sistema, vakuuminė sistema ir vamzdinė krosnis. Dažniausiai naudojama temperatūra yra 1100 laipsnių Celsijaus arba žemesnė, o pagrindinės jos savybės yra žema nusodinimo temperatūra, greitas greitis, gera plėvelės kokybė, mažiau skylučių ir mažiau linkę įtrūkti. Idealus prietaisas nanolaideliams auginti ar įvairioms plonoms plėvelėms ruošti CVD metodu.
Siųsti užklausą
Funkcija

 

● Maksimali temperatūra RT-1200 laipsniai

● Padalinto tipo krosnis, galite atidaryti krosnį.

● Gali įvesti daugiau nei 2 dujų kanalus, kurių vakuuminis laipsnis yra 10 Pa, naudojant mechaninį siurblį ir 500 W RF maitinimo šaltinį, kad sustiprintų signalą.

● Aukštos kokybės aliuminio oksido keramikos pluošto izoliacinės medžiagos

● Temperatūros reguliavimo tikslumas ±1 laipsnis

● Su perkaitimo aliarmo funkcija

● Aušinimo ventiliatorius gali sumažinti korpuso temperatūrą

 

Modelis

SK2-CVD-12TPB4

Matmenys: Standartinis šildymo zonos ilgis (mm)

440 mm

Matmenys: standartinis vamzdžio skersmuo (mm)

∮60 mm

Max.temperatūra

1200 laipsnių, nuolatinė darbo temperatūra 1100 laipsnių.

Įtampa (V)

220 1P

Termoporos tipas

K

Kaitinantis elementas

HRE lydinio atsparumo viela

Temp.Preciziškumas

±1 laipsnis

Šildymo greitis

0-30 laipsnis / min. nemokamas koregavimas

Kameros medžiaga

Naudojama pažangi aukštos kokybės aliuminio oksido mikrokristalinio pluošto medžiaga

Krosnies konstrukcija

Dvisluoksnė oru aušinama struktūra, paviršiaus temperatūra mažesnė nei 60 laipsnių

Temperatūros reguliatorius

Išmanus PID temperatūros valdymo instrumentas, 30 programos segmentų, SSR valdymas, PID parametrų savaiminio derinimo funkcija; programa temperatūros pakėlimas, programa šilumos išsaugojimas, programa vėsinimas

500W RF maitinimo šaltinis

Išėjimo galia: 5-500W ±1 laipsnis

RF dažnis: 13,56 MHz ±0,005 %

Atspindi galia: iki 100W

Atitiktis: Automatinis

RF sąsaja: 50Ω, N tipo

Vėsinimas: oro aušinimas

Maitinimas: kintamoji 208-240V, 50/60 HZ

4 dujų kanalų tikslaus srauto sistema

1. Viso skalės srauto greitis (5, 10, 30, 50, 100, 200, 300, 500) ML/min. 10l/min.

2. Vožtuvo tipas: Solenold vožtuvas.

3. Vožtuvo poilsio padėtis: Paprastai uždarytas.

4. Slėgio skirtumas: (50-300) kpa

5. Atsparumas slėgiui: 3mpa.

6. Darbinė temperatūra: 5-45 laipsnis

7. Medžiagos: nerūdijantis plienas 316L.

Vakuuminė sistema

5*10-3Pa

KF25 greitas sujungimas, nerūdijančio plieno silfonai, rankinis sklendės vožtuvas ir flanšas, vakuuminis siurblys

Pasirinktinai gali būti įrengtos ir aukštesnės vakuuminės sistemos.

image001

SVEIKI OEM/ODM

 

Standartiniai priedai

 

Termo pirštinės|Tiglio kabliukas|Termopora|Vamzdžių blokas|Vartotojo vadovas |Įrankiai|Vakuuminis siurblys| Kvarcinis vamzdis|Flanšas|Sandarinimo žiedas|10 mm dujų žarna|Flanšo atrama, Dujų sistema, RF galia.

 

Neprivaloma

 

Skirtinga šildymo zona Jūsų pasirinkimui;

LCD jutiklinis ekranas, skirtas pasirinkti

RS485/USB prievadas kompiuteriui prijungti.

 

Išsami CVD-PECVD nuotrauka

 

image003
500W RF maitinimo šaltinis
image005
Vakuuminė sistema
image007
4 dujų kanalų tikslaus srauto sistema

 

Taikymas

 

Šis prietaisas daugiausia naudojamas nanolaideliams auginti arba įvairioms plonasluoksnėms plėvelėms ruošti CVD metodu.

 

Garantija

 

Vienerių metų garantija ir visą gyvenimą trunkanti techninė pagalba

Specialūs patarimai:

1. Eksploatacinėms medžiagoms, tokioms kaip kaitinimo elementas, kvarcinis vamzdelis, mėginių tiglis ir kt., garantija netaikoma.

2. Garantija netaikoma žalai, atsiradusiai dėl korozinių dujų ir rūgščių dujų naudojimo.

 

Populiarus Žymos: 1200c trijų šildymo zonų pecvd sistema, Kinija 1200c trijų šildymo zonų pecvd sistemų gamintojai, tiekėjai